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진공시스템

PRODUCT - LINEAR TYPE SOURCE 


 


Linear type
 

FPG-L100S
 

FPG-L150S
 

FPG-L180D
 

FPG-L220D
 

 

01_information_03_textstart.png Linear Type Ion Beam Source

 

 

Type
Model

Length
Source

 

Length
Beam

 
Loop
Applications

Linear
 
FPG-L100S
1,000 mm
880mm
Single
IBAD, Cleaning

Linear
 
FPG-L150S
1,500 mm
1,380 mm
Single
IBAD, Cleaning

Linear
 
FPG-L180D
1,800 mm
1,680 mm
Double
Etching

Linear
 
FPG-L220D
2,200 mm
2,080 mm
Double
Etching

 

     
 

불순물 발생이 없는 구조
 
 
     
 

기존의 이온소스는 확산 원리에 의하여 구동되는 형태로 식각에 의한 불순물이 발생하여 아킹 현상이 나타나는 단점이 있었습니다. 그러나 당사의 이온 소스 시스템은 전자기장에 의한 구동으로 불순물이 발생할 염려가 없습니다.

 
     

 

ion_01_01.jpg

 

     
 

방향성을 가질 수 있는 이온 빔
 
 
     
 

당사의 FPG 이온빔 소스는 Whenelt Mask에 의해 이온빔 형상을 제어합니다. 따라서 이온 소스를 이용하고자 하는 장비의 방향에 맞춰 이용이 가능합니다.

 
     

 

ion_01_02.jpg

 

 

 

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